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什么是磁性膜

这种由合金构成的磁性膜通过诸如溅射或蒸发之类的薄膜形成来形成。可以通过使用现有的溅射装置来进行溅射,例如RF两溅射,DC溅射,磁控溅射,三溅射,离子束溅射或对靶溅射。

在软磁性合金膜中添加O(氧)时,反应型溅射是的,其在通过将诸如Ar之类的惰性气体与O 2气体混合而获得的混合气体气氛中进行溅射。

除此之外,还可以通过使用通过将稀土元素等的粒料排列在Fe靶上而获得的复合靶,在诸如Ar的惰性气体中制造软磁合金膜。

此外,软磁性合金结构可以由非晶相组成,或者部分地包括b-c-c结构的Fe的微晶相。一种软磁合金织构,其细晶相具有较大的晶粒尺寸,且其中晶相占较大比例,其电阻率相对较低,而其中包含大量氧的非晶相构成了较大的比例。该结构倾向于具有高的电阻率。

如上所述,通过使用具有良好的磁特性和高的电阻率的软磁性合金膜在基板上形成螺旋状的平面线圈,可以得到具有良好的磁特性的磁性元件。使用RF磁控溅射装置,通过在由Ar和0.1至1.0的混合物组成的气氛中使用由Fe靶组成的复合靶进行溅射,该Fe靶上布置有本发明的元素M或M'的颗粒。

软磁合金


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