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不同尺寸的软磁合金膜

示出具有Fe54.9Hf11O34.1组成的软磁性合金的金相图的示意图,该软磁性合金已被形成为膜。在该图中,b-c-c结构的Fe的微晶相在环绕的区域中沉淀,表现出与具有非晶相的其余区域不同的相。计算图1中的环绕区域的面积。 8表明它约占整个区域的50%。因此,显而易见的是,在该示例的软磁合金中,Fe的微晶相约占50%,非晶相约占50%。此外,从图5中所示的5nm的尺度来看,在图8中,每个晶粒显然表现出小的晶粒尺寸。计算表明平均晶粒尺寸为7 nm。

出具有Fe46.2Hf18.2O35.6组成的软磁性合金的金相图的示意图,该软磁性合金已被形成为膜。在该图中,b-c-c结构的Fe的微晶相在环绕的区域中沉淀,表现出与具有非晶相的其余区域不同的相。计算图1中的环绕区域的面积。图9显示它约占整个区域的10%。因此,显而易见的是,在该示例的软磁合金中,Fe的微晶相约占10%。此外,从图5中所示的5nm的尺度来看,每晶粒显然具有较小的晶粒尺寸;计算表明平均晶粒尺寸为4nm。

软磁合金


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