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什么是电感器

在该示例的电感器中,通常用符号C表示,氧化膜11,磁性膜12和缘层13以此顺序依次层叠在基板10上。形成平面线圈14。在缘层13上形成缘层15,以覆盖平面线圈14和缘层13,并且在缘层15上形成磁性膜16。

基板10由与上述示例中的基板1相同的材料制成,并且缘层13由与上述示例中的缘层3相同的材料制成。

磁性膜12由具有如上所述组成的软磁性合金膜构成。较具体地说,该合金具有Fea Mb Oc的组成;其中M代表至少一种稀土元素(Sc和Y,属于元素周期表的3A组,镧系元素包括La,Ce,Pr,Nd,Pm,Sm,Eu,Gd,Td,Dy ,Ho,Er,Tm,Yb,Lu等)或它们的混合物,a,b和c的组成比(原子%)如下:50≤a≤70,5≤b≤30,10≤ c≤30,并且a + b + c = 100。磁性膜12也可以由组成为Fed M'e Of的软磁性合金构成。其中M′表示元素Ti,Zr,Hf,V,Nb,Ta和W中的至少一种,或它们的混合物,组成比d,e和f(原子%)如下:45≤d ≤70、5≤e≤30、10≤f≤40,并且d + e + f = 100。

当基板10例如由Si晶片基板构成时,可以通过加热Si晶片通过热氧化来形成氧化膜11。但是,氧化膜11不是成分。可以省略。

像上述示例的电感器B一样,如上所述构造的该示例的电感器C表现出良好的电感,小且轻,并且较于减小平面磁性元件的尺寸和重量。

本发明的软磁合金由具有特定组成和特定组成比并提供高饱和磁通密度,低矫顽力和高电阻率的Fe基合金组成,因此,减小尺寸和重量并增加磁性元件的性能,例如薄膜变压器,磁头芯,薄膜电感器和开关元件。

软磁合金


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